Ansanm ak avantaj pèfòmans konplè materyèl substrat tradisyonèl Al2O3 ak BeO yo, seramik nitrid aliminyòm (AlN), ki gen yon konduktivite tèmik ki wo (konduktivite tèmik teyorik monokristal la se 275W/m▪k, konduktivite tèmik teyorik polikristal la se 70 ~ 210W/m▪k), yon konstan dyelèktrik ki ba, yon koyefisyan ekspansyon tèmik ki mache ak silikon monokristal, ak bon pwopriyete izolasyon elektrik, se yon materyèl ideyal pou substrat sikwi ak anbalaj nan endistri mikwoelektwonik la. Li se tou yon materyèl enpòtan pou konpozan seramik estriktirèl tanperati ki wo akòz bon pwopriyete mekanik tanperati ki wo, pwopriyete tèmik ak estabilite chimik li yo.
Dansite teorik AlN a se 3.26g/cm3, dite MOHS la se 7-8, rezistivite tanperati chanm nan pi gran pase 1016Ωm, epi ekspansivite tèmik la se 3.5×10-6/℃ (tanperati chanm 200℃). Seramik AlN pi yo san koulè epi transparan, men yo ka gen plizyè koulè tankou gri, gri blan oswa jòn pal, akòz enpurte yo.
Anplis konduktivite tèmik ki wo, seramik AlN yo genyen avantaj sa yo tou:
1. Bon izolasyon elektrik;
2. Koyefisyan ekspansyon tèmik menm jan ak monokristal Silisyòm, siperyè materyèl tankou Al2O3 ak BeO;
3. Segondè fòs mekanik ak menm fòs fleksyon ak seramik Al2O3;
4. Konstan dyelèktrik modere ak pèt dyelèktrik;
5. Konpare ak BeO, konduktivite tèmik seramik AlN yo mwens afekte pa tanperati, espesyalman pi wo pase 200 ℃;
6. Rezistans tanperati ki wo ak rezistans korozyon;
7. Pa toksik;
8. Aplike nan endistri semi-kondiktè, endistri metaliji chimik ak lòt domèn endistriyèl.
Dat piblikasyon: 14 Jiyè 2023