Efèktè Fen Seramik Kouvwi ak Teflon - Sifas ki pa Kole pou Manyen Wafer Sansib
Efèktè seramik St.Cera a ki kouvri ak Teflon (PTFE) konbine yon substra aliminyòm ki gen gwo rezistans ak yon kouch PTFE inifòm ki pa twò friksyon (epesè 15-30 μm). Kouch la bay yon koyefisyan friksyon ki ba anpil (≤0.1), yon ekselan rezistans chimik, ak pwopriyete anti-adezif, ki anpeche adezyon waf la epi elimine kontaminasyon dèyè. Substra seramik ki anba a (99.8% Al₂O₃) ofri yon gwo rezistans fleksyon (361-1000 MPa), rezistans mete, ak estabilite tèmik jiska 260°C (limit kouch la). Efèktè final sa a ideyal pou manyen waf ki delika, mens, oswa kolan (pa egzanp, apre kouch fotorezist oswa pwosesis chimik).
Espesifikasyon (baze sou yon substrat 99.8% Al₂O₃ ak yon kouch PTFE):
| Pwopriyete | Valè |
| Materyèl Substra | 99.8% Alumina (Ivwa) |
| Materyèl kouch | PTFE (Teflon) |
| Epesè kouch | 15–30 μm |
| Koyefisyan friksyon (kouvwi) | ≤0.1 |
| Rezistans fleksyon substrat (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Dite Substrat (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Dansite Substra | 3.93 g/cm³ |
| Tanperati Operasyon Maksimòm (limit kouch) | 260°C |
| Aspè sifas la (anvan kouch la) | Ra ≤0.4 μm |
| Fòs dyelèktrik (substra) | 15×10⁶ V/m |
Remak: Kouch PTFE a limite tanperati maksimòm nan a 260°C; pou aplikasyon ki gen tanperati ki pi wo, konsidere seramik san kouch oswa lòt kouch.
Aplikasyon yo:
- · Manyen wafers apre kouch fotorezist (sifas kolan)
- · Transfè waflè mens oswa frajil (anpeche kole)
- · Zouti enspeksyon ak metroloji semi-kondiktè
- · Otomatizasyon chanm pwòp kote yo dwe minimize kontaminasyon patikil
Pwosesis fabrikasyon:
Substra seramik sinterize ak moulen presizyon → sifas ki graj (plasma etch oswa sab sab) → kouch espre PTFE → geri pa chalè a 380°C → enspeksyon final. Chak efèktè final tcheke pou epesè kouch (kouran remolino), adezyon (tès koupe kwa ASTM D3359), ak koyefisyan friksyon.
Kontwòl Kalite:
Enspeksyon vizyèl 100% pou twou zegwi oswa bul; inifòmite epesè kouch la nan ±5 μm; pa gen delaminasyon apre tès koube 90° sou koupon temwen. Verifikasyon dimansyon selon tolerans OEM (longè ±0.05 mm, platite ≤0.1 mm).
Avantaj sou kouch san kouch oswa lòt kouch:
- · Sifas ki pa kole anpeche wafer la kole epi li kase.
- · Pi ba koyefisyan friksyon pami kouch seramik yo
- · Ekselan rezistans chimik (asid, baz, solvan)
- · Redui jenerasyon patikil lè li anpeche transfè materyèl
Limitasyon (remak sou devyasyon materyèl):
Kouch PTFE a pa sòti nan tablo pwopriyete materyèl yo bay la (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Pwopriyete substrat yo swiv estrikteman fich done yo bay la (99.8% Al₂O₃). Pwopriyete kouch yo baze sou espesifikasyon PTFE estanda endistri a, paske pa gen okenn done kouch ki te bay. Pou aplikasyon ki depase 260°C, yo rekòmande yon efèktè final seramik san kouch.*
Personnalisation:
Disponib nan longè 150–1500 mm, fòm pwent (priz kwen, Bernoulli, plat), modèl bride montaj dapre desen OEM. Kouvèti pasyèl (zòn kontak sèlman) oswa kouvèti konplè si ou vle.
Mande yon echantiyon pou tès adezyon ak friksyon.
