Efektè Fen Seramik Alumina ak Chanèl Vakyòm Entegre
Efektè final vakyòm aliminyòm St.Cera a entegre kanal vakyòm ak twou aspirasyon ki fèt ak presizyon dirèkteman nan kò aliminyòm 99.8% pite segondè a. Konsepsyon sa a elimine kousinen vakyòm ekstèn, sa ki pèmèt yon ramasaj dirèk sou waf la ak yon fòs kenbe inifòm. Segondè rezistans fleksyon materyèl la (361 MPa) ak dite li (16 GPa) asire estabilite dimansyonèl alontèm anba sik vakyòm repete. Planite atravè zòn kousinen an kenbe nan 10 μm, sa ki anpeche estrès sou waf la ak kraze. Pò vakyòm yo sitiye nan flanj montaj dèyè a pou yon entegrasyon fasil ak bra robo OEM yo.
Espesifikasyon(baze sou 99.8% Al₂O₃):
| Pwopriyete | Valè |
| Materyèl | 99.8% Alumina (Ivwa) |
| Dansite | 3.93 g/cm³ |
| Fòs fleksyon | 361 MPa |
| Dite Vickers | 16 GPa |
| Modil Young lan | 380 GPa |
| Ekspansyon tèmik | 7.2 × 10⁻⁶/℃ |
| Planite pad | ≤10 μm |
| Lajè Chanèl Vakyòm | 0.5–2.0 milimèt |
| Tanperati Operasyon Maksimòm | 800°C |
Aplikasyon yo:
● Ranmase waf mens oswa defòme ak yon aspiratè
● Manyen dirèkteman sou waf la san ou pa bezwen kenbe kwen yo
● Transfè selil solè ak substrat LED
Fabrikasyon:
Blank aliminyòm sinterize → perçage CNC 5 aks pou kanal ak twou vakyòm → lape sifas → netwayaj ultrason → tès flit elyòm. Chak efèktè sibi yon tès koule 100% pou inifòmite vakyòm.
Avantaj:
● Pa gen kousinen vakyòm ekstèn (diminye sous patikil)
● Presyon kenbe inifòm anpeche make sou wafer la
● Chimikman inaktif e konpatib ak chanm pwòp
