Mandrin vakyòm SiC pore ak do metal pou manyen waf defòme ak mens
Mandrin vakyòm seramik ki baze sou metal St.Cera a konbine yon kouch seramik pore carbure silikon (SiC) ak yon baz metal ki fèt ak presizyon (aliminyòm oswa asye pur). Materyèl SiC pore a (ble-nwa, porosit 35-40%, gwosè pò 20-30 μm, pèmeyabilite 60 ml/cm²·min) bay yon distribisyon vakyòm inifòm ak dou sou tout sifas waf la, elimine mak sou kwen yo epi pèmèt sipò san kontak pou waf mens (≤100 μm) oswa defòme. Kouch SiC a ofri yon ekspansyon tèmik ki ba (3.5×10⁻⁶/℃), estabilite tèmik jiska 1000°C, ak yon fòs fleksyon modere (32-35 MPa). Baz metal la ajoute rijidite estriktirèl, yon montaj fasil atravè twou filete, ak pwoteksyon kont ka zo kase frajil. Mandrin sa a ideyal pou fanm k'ap pile dèyè, koupe an ti moso, ak pwosesis waf nan tanperati ki wo kote vakyòm inifòm ak konpatibilite tèmik enpòtan anpil.
Espesifikasyon (baze sou done SiC pore yo bay):
| Pwopriyete | Valè |
| Materyèl seramik | Karbid Silisyòm Pore (SiC ≥80%) |
| Koulè | Ble-nwa |
| Porosite | 35–40% |
| Gwosè pò | 20–30 μm |
| Dansite | 2.1–2.3 g/cm³ |
| Pèmeabilite | 60 ml/cm²·min |
| Fòs fleksyon | 32–35 MPa |
| Koefisyan ekspansyon tèmik (25-1000°C) | 3.5 × 10⁻⁶/℃ |
| Tanperati Operasyon Maksimòm | 1000°C |
| Rezistans elektrik | 10⁻¹⁰ Ω/cm (dapre done yo bay la, tipik pou SiC pore) |
| Materyèl baz metalik | Aliminyòm 6061 oubyen asye pur 304 (opsyonèl) |
| Epesè baz metal la | 10–30 mm (pèsonalize) |
Remak: Rezistans fleksyon an pi ba pase SiC dans la akòz porositë. Pwopriyete baz metal yo pa soti nan tab seramik yo.
Aplikasyon yo:
- · Broyage dèyè waf mens (≤100 μm)
- · Montaj waf defòme pou koupe an kib
- · Manch waf ki gen gwo tanperati (jiska 1000°C)
- · Fiksasyon vakyòm pou substrats pore oswa frajil
Fabrikasyon:
Plak SiC pore (fòme ak fòmatè pò, sinterize) → rope jiskaske li plat ≤10 μm → baz metal machin ak pò vakyòm ak karakteristik montaj → lyezon epoksi oswa blokaj mekanik → tès flit elyòm.
Kontwòl Kalite:
- · Porosit ak gwosè pò verifye pa SEM
- · Tès pèmeyabilite (koule lè)
- · Planite mezire ak entèferomèt lazè
- · To flit elyòm <1×10⁻⁹ Pa·m³/s
Avantaj sou mandrin seramik ki gen rainur oswa dans:
- · Pa gen mak sou wafer - yon vakyòm inifòm san twou byen defini
- · Pò ki netwaye tèt yo – mwens blokaj
- · Li ka okipe waf ki defòme (jiska 500 μm koube)
- · Baz metal la anpeche ka zo kase frajil epi senplifye entegrasyon an
Limitasyon:
- · Rezistans fleksyon ki pi ba (32–35 MPa) – evite chaj enpak
- · Tanperati operasyon limite a 1000°C (SiC pore), men limit lyezon epoksi baz metal la se ≤200°C sof si yo bloke mekanikman.
- · Pa pou vakyòm presyon ki wo (estrikti pore limite diferans vakyòm maksimòm)
Personnalisation:
- · Baz metal: aliminyòm (lejè), asye pur (rezistan a korozyon), Invar (dilatasyon ki ba)
- · Koleksyon: epoksi (≤200°C) oswa kranpon mekanik (jiska 500°C)
- · Bag sele kwen pou kontwòl vakyòm zòn
Tanpri sonje: Rezistans fleksyon ki vini ak seramik la (32–35 MPa) pi ba anpil pase seramik dans yo akòz porositë. Manyen ak prekosyon pou evite fann kwen yo.
