Chuck vakyòm seramik pore pou manyen wafer defòme
Mandrin seramik pore St.Cera a fèt ak aliminyòm ki gen yon gwo pite ak yon porosit ouvè inifòm 30-45% ak gwosè pò ki varye ant 10 ak 100 μm. Kontrèman ak mandrin rainuré konvansyonèl yo, sifas pore a bay yon vakyòm distribye sou tout dèyè waf la, sa ki kenbe waf ki defòme, mens, oswa endividyèl yo efektivman san kwen yo pa leve oswa kraze. Vakyòm dou a (reglabl atravè yon restriktè) anpeche tou make sou dèyè a.
Espesifikasyon(baze sou 99.6% Al₂O₃):
| Pwopriyete | Valè |
| Porosite | 30–45% |
| Gwosè pò mwayèn | 10–100 μm (chwazibl) |
| Fòs fleksyon | ≥250 MPa |
| Planite (plis pase 300mm) | ≤5 μm |
| Fini sifas | Lapped (Ra 0.8 μm) |
| Nivo maksimòm vakyòm | -80 kPa |
| Tanperati Operasyon | 400°C (lè), 600°C (inert) |
| Materyèl | 99.6% Al₂O₃, ZrO₂, oswa SiC |
Aplikasyon yo:
Broyage dèyè waf mens (≤50 μm)
Montaj waf defòme pou koupe an kib
Ranmase mwazi endividyèl nan kasèt
Manyen panèl an vè
Fabrikasyon ak Kalite:
Poud seramik melanje ak ajan òganik ki fòme pò → bourade → sinterize → rope jiska epesè final la. Chak mandrin sibi tès koule pou inifòmite vakyòm (devyasyon ≤5%) epi enspekte pou distribisyon gwosè pò (SEM). Planite mezire ak entèferomèt lazè.
Avantaj sou mandrin rainuré yo:
Pa gen okenn mak sou kwen wafer la oswa chanjman nan mwazi an
Kenbe waf ki defòme (jiska 500 μm koube)
Elimine blokaj twou vakyòm yo
Sipò oto-nivelman pou substrats mens
Personnalisation:
Fòm won oswa rektangilè, gwosè jiska 600 mm. Nou ka aplike bag sele kwen oswa patisyon vakyòm zòn. Vèsyon ak do metal disponib pou kondisyon gwo rijidite.
Mande yon echantiyon pou tès gwosè wafer ou a ak defòmasyon an.
