Efèktè Fen Seramik Silisyòm Karbid (SiC) - Segondè Rijidite pou Manyen Wafer nan Segondè Tanperati
Efektè final seramik SiC St.Cera a fabrike ak carbure Silisyòm ki gen yon gwo pite (kontni SiC 99.72%, Si lib 0.05%) lè l sèvi avèk materyèl batch S1111 la. Li ofri pwopriyete mekanik eksepsyonèl: rezistans fleksyon 449 MPa (mezire), modil elastik 457 GPa (mezire), ak dite Vickers 25–28 GPa (tipik). Dansite ki ba a (3.10–3.15 g/cm³, tipik) bay yon gwo rijidite espesifik, ideyal pou robo transfè waf ki gen gwo vitès. Avèk yon konduktivite tèmik 120–150 W/m·K (tipik) ak yon koyefisyan ekspansyon tèmik 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (tipik), efèktè final sa a disipe chalè efektivman epi kenbe estabilite dimansyonèl pandan manyen nan tanperati ki wo (jiska 1600–1700°C, san chaj). Koulè nwa/gri a ak absòpsyon dlo zewo asire konpatibilite chanm pwòp.
Espesifikasyon(baze sou rapò tès SiC S1111 ki founi an ak valè tipik yo)):
| Pwopriyete | Valè |
| Materyèl | SiC (99.72% SiC, 0.05% Si gratis) |
| Koulè | Nwa/Gri |
| Dansite | 3.10–3.15 g/cm³ |
| Absòpsyon dlo | 0% |
| Fòs fleksyon | 449 MPa (mwayèn) |
| Rezistans frakti | 3.12 MPa·m¹/² (mwayèn) |
| Modil elastik | 457 GPa |
| Dite Vickers | 25–28 GPa |
| Konduktivite tèmik (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Tanperati Itilizasyon Maksimòm (san chaj) | 1600–1700°C |
Aplikasyon yo:
● Manyen waf nan tanperati ki wo (post-rekwit, RTP, epitaksi)
● Chanm grave plasma ki mande gwo rezistans kont ewozyon
● Robo transfè gwo vitès (lejè, gwo rijidite)
Fabrikasyon:
Sinterizasyon poud SiC → fanm k'ap pile CNC presizyon pwofil bra a ak karakteristik montaj → sipèpozisyon sifas → netwayaj à ultrasons. Enspeksyon dimansyonèl 100% ak tès flit elyòm pou aplikasyon vakyòm.
Kontwòl Kalite:
● Enspeksyon CMM pou longè, lajè, ak platite
● Tès fòs fleksyon pou chak pakèt (dapre estanda rapò tès la)
● Enspeksyon vizyèl anba mikwoskòp pou domaj sifas
Avantaj sou aliminyòm oswa metal:
● Modil elastik 2 fwa pi wo (457 vs ~380 GPa pou aliminyòm) – mwens defleksyon
● 3 fwa pi wo konduktivite tèmik - pi rapid disipasyon chalè
● Reziste >1600°C kont 800°C aliminyòm nan lè a
● Dansite pi ba pase asye – 40% rediksyon pwa
Personnalisation:
Longè 150–450 mm, fòm pwent yo (priz kwen, Bernoulli, plat), modèl bride montaj dapre desen OEM.
*Tout done mekanik ki anwo yo soti nan rapò tès ki te founi an (pakèt S1111). Valè tèmik ak dite yo tipik pou klas SiC sa a; tanpri kontakte nou pou sètifikasyon espesifik pou pakèt la.*
