Mandrin vakyòm aliminyòm 12 pous pou pwosesis wafer 300mm
Mandrin vakyòm 12 pous St.Cera a fabrike avèk presizyon ak 99.8% aliminyòm pite segondè (Al₂O₃) pou manyen waf 300mm. Mandrin lan gen yon sifas ak rainur amann (lajè rainur 0.5–1.0 mm, pant 2–3 mm) pou asire yon distribisyon vakyòm inifòm sou tout dyamèt 300mm lan. Planite a kenbe nan 5 μm, sa ki pèmèt yon fiksasyon waf san defòmasyon pandan koupe an ti moso, fanm dèyè, ak enspeksyon. Gwo rezistans fleksyon materyèl la (361 MPa) ak dite li (16 GPa) garanti estabilite dimansyonèl alontèm menm anba sik vakyòm repete.
Espesifikasyon (baze sou 99.8% Al₂O₃):
| Pwopriyete | Valè |
| Dyamèt | 300 mm (12 pous) |
| Materyèl | 99.8% Alumina (Ivwa) |
| Dansite | 3.93 g/cm³ |
| Fòs fleksyon | 361 MPa |
| Dite Vickers | 16 GPa |
| Planite (plis pase 300mm) | ≤5 μm |
| Lajè Groove | 0.5–1.0 milimèt |
| Tanperati Operasyon Maksimòm | 800°C |
| Fòs dyelèktrik | 15×10⁶ V/m |
Aplikasyon yo:
Koupe ak grave waf 300mm
Broyage dèyè wafer (sipò wafer mens)
Enspeksyon optik ak sondaj
Mandrin pou lyezon/dekolezon tanporè
Fabrikasyon:
CNC poli epi rope jiskaske li plat nèt, gen rainure ak wou dyaman, netwaye ak ultrasons, epi pake nan yon chanm pwòp Klas 100. Chak mandrin enspekte 100% pou planite (entèferomèt lazè) ak pwofondè rainure (pwofilomèt).
Avantaj:
Ba jenerasyon patikil (≤0.05 patikil/cm²)
Chimikman inaktif anvè solvan ak asid
Sifas ki an sekirite kont ESD (rezistivite >10¹³ Ω·cm)
Modèl twou vakyòm koutim ak pò dèyè disponib.
