Mandrin vakyòm seramik pore ki baze sou aliminyòm pou manyen wafer mens
Mandrin pore St.Cera a ki baze sou aliminyòm fabrike ak 99.6% Al₂O₃ ki gen yon gwo pite ak yon porosit ouvè kontwole de 30-45% ak yon gwosè pò inifòm ki varye ant 10 a 50 μm. Kontrèman ak mandrin ki gen rainur yo, sifas pore a bay yon vakyòm distribye sou tout dèyè waf la, sa elimine mak sou kwen yo epi pèmèt yon kenbe dou waf ultra-mens (≤100 μm) oswa ki defòme. Materyèl la ofri yon rezistans fleksyon ≥250 MPa ak yon estabilite tèmik jiska 400°C nan lè.
Espesifikasyon(baze sou 99.6% Al₂O₃):
| Pwopriyete | Valè |
| Materyèl | 99.6% Alumina (Blan) |
| Porosite | 30–45% (reglabl) |
| Gwosè pò mwayèn | 10–50 μm |
| Fòs fleksyon | ≥250 MPa |
| Dansite | 3.88 g/cm³ |
| Planite (plis pase 200mm) | ≤5 μm |
| Tanperati Operasyon Maksimòm | 400°C (lè) |
| Fini sifas | Lapped (Ra ≤0.8 μm) |
Aplikasyon yo:
- · Broyage dèyè waf mens (≤50 μm)
- · Montaj waf defòme pou koupe an kib
- · Ranmase mwazi endividyèl
- · Manyen substrat vè
Fabrikasyon:
Poud melanje ak fòmatè pò → presyon izostatik → sinterizasyon a 1600°C → lape rive nan epesè final la. Chak mandrin sibi tès koule pou inifòmite vakyòm (devyasyon presyon <5%) epi li enspekte pou distribisyon gwosè pò (SEM).
Avantaj parapò ak mandrin konvansyonèl yo:
- · Pa gen mak dèyè wafer la oswa chanjman mwazi an
- · Kenbe waf ak banza jiska 500 μm
- · Sifas ki netwaye tèt li (porositë yo reziste bouche)
- · Sipò inifòm elimine estrès lokal la
Cpèsonalizasyon:
Fòm won oswa kare, dyamèt 100–450 mm. Bag sele kwen disponib pou kontwòl vakyòm zòn.
Mande yon echantiyon pou gwosè wafer espesifik ou a.
