Efèktè Final Seramik Bernoulli — Manyen Wafer San Kontak pou Wafer Mens ak Frajil

Efektè final seramik Bernoulli St.Cera a itilize yon leve ayewodinamik pou manyen waf yo san kontak fizik. Li fabrike ak aliminyòm 99.8% (Al₂O₃) oswa carbure silikon (SiC) ki gen yon gwo pite, li gen bouch ki fèt ak presizyon ki ejete gaz anba presyon pou kreye yon fim lè mens ant efèktè final la ak waf la. Prensip san kontak sa a elimine kontaminasyon dèyè, fann kwen, ak domaj sifas, sa ki fè li ideyal pou waf mens (≤100 μm), frajil, oswa defòme. Substra seramik la bay yon gwo rezistans fleksyon (361 MPa pou Al₂O₃; jiska 550–600 MPa pou SiC), yon mas ki ba, ak yon ekselan estabilite dimansyonèl, sa ki asire yon pozisyonman repetitif nan robo transfè waf ki gen gwo vitès.

Nòt sou Materyèl yo:Aliminyòm (Al₂O₃) se materyèl ki pi lajman itilize pou efèktè final seramik nan manyen waf semi-kondiktè akòz konbinezon ekselan li an tèm de dite, izolasyon elektrik, estabilite chimik, ak rentabilité. Karbid Silisyòm (SiC) ofri pi gwo konduktivite tèmik, pi gwo dite, e menm pi bon rezistans mete pou aplikasyon ki pi difisil yo. Pandan ke zirkonya (ZrO₂) estabilize ak itrityòm ofri yon gwo rezistans nan frakti nan tanperati chanm, li mwens souvan itilize nan aplikasyon sa a akòz dansite ki pi wo li yo ak diferan karakteristik ekspansyon tèmik; li ka konsidere pou senaryo espesifik kote yo bezwen yon rezistans eksepsyonèl nan frakti. Tanpri konsilte ekip teknik nou an pou konsèy sou seleksyon materyèl.

Espesifikasyon(baze sou 99.8% Al)₂O₃):

Prensip Operasyon:

Lè konprese oswa azòt (0.2–0.6 MPa) apwovizyone atravè chanèl entèn yo epi li soti atravè bouch presizyon. Sikilasyon lè akselere a kreye yon zòn presyon ba anlè efèktè final la (efè Bernoulli), sa ki jenere yon fòs leve ki sipòte waf la nan yon espas 50–200 μm. Pa gen twou vakyòm oswa kousinen ki an kontak ak pati dèyè waf la.

Aplikasyon yo:

• · Manyen waf mens (≤50 μm) apre fanm k'ap pile dèyè
• · Transpò waf defòme (pa egzanp, apre CVD oswa rekwi)
• · Transfè substrat selil solè ak LED safi
• · Otomatizasyon chanm pwòp ki pa mande pou okenn jenerasyon patikil
• · Manyen panèl an vè nan fabrikasyon ekspozisyon

Pwosesis fabrikasyon:

Substra seramik sinterize soti nan poud ki gen anpil pite → machinasyon CNC 5 aks nan kanal gaz ak twou bouch (dyamèt 0.3–1.0 mm, tolerans ±0.01 mm) → sipèpozisyon sifas rive nan Ra ≤0.4 μm → netwayaj ultrason → tès flit elyòm (kanal gaz). Pa gen bezwen kouch — sifas seramik toutouni an inaktif chimikman e li pa kontaminan.

Kontwòl Kalite:

• · Enspeksyon dimansyonèl 100% (CMM) pou pozisyon bouch yo, longè bra a, ak planite a
• · Tès inifòmite koule lè a: gout presyon ≤5% atravè tout bouch yo
• · Tès flit: chanèl gaz yo sele a 0.6 MPa, pa gen okenn gout presyon sou 30 segonn
• · Enspeksyon vizyèl anba yon mikwoskòp 20× pou mikwo-fant oswa bav

Aavantaj sou efèktè kontak konvansyonèl yo:

• · Zewo kontaminasyon dèyè waf la — pa gen kontak mekanik
• · Pa gen okenn fann kwen oswa kraze nan waf mens yo
• · Manyen waf ki defòme (jiska 1 mm koube) ak yon espas ki estab
• · Elimine antretyen dèlko vakyòm ak mandrin pore
• · Konstriksyon seramik reziste kont mete ak atak chimik

Personnalisation:

• · Disponib pou gwosè waf 200 mm, 300 mm, oubyen gwosè waf pèsonalize
• · Modèl bouch gaz: dwat, angilè, oswa kalite vortex
• · Materyèl: aliminyòm (estanda) oswa carbure Silisyòm (pou pi gwo konduktivite tèmik ak rezistans nan mete)
• · Longè bra a, bride montaj la, ak kote pò gaz la dapre desen OEM lan

Limitasyon:

Aplikasyon prensip Bernoulli a (konsepsyon bouch, espas lè) depase limit tablo pwopriyete materyèl yo bay yo. Pwopriyete mekanik ak tèmik ki anwo yo swiv estrikteman fich done yo bay pou 99.8% Al₂O₃. Pa gen okenn degradasyon pèfòmans seramik la anba koule gaz anba presyon ki prevwa ki baze sou pwopriyete materyèl sa yo. Pou waf ki sansib a koule gaz (pa egzanp, MEMS ki gen estrikti frajil), presyon gaz la ak konsepsyon bouch yo ta dwe ajiste kòmsadwa.