Bag Konsantrasyon Chanm Alumina ki gen Gwo Pite pou Sistèm Gravure Plasma ak CVD

Bag konsantrasyon chanm St.Cera a se yon konpozan twous pwosesis kritik yo itilize nan ekipman semi-kondiktè grave plasma, CVD, ak PVD. Fabrike ak 99.8% aliminyòm pite segondè (Al₂O₃), bag la antoure kwen waf la pou limite plasma a epi optimize distribisyon angilè iyon an, kidonk amelyore inifòmite grave sou tout sifas waf la. Materyèl la ofri yon rezistans plasma eksepsyonèl, yon fòs dyelèktrik segondè (15 × 10⁶ V/m), ak estabilite tèmik jiska 1600 °C, sa ki asire fyab alontèm nan anviwònman plasma agresif ki baze sou fliyò oswa klò. ID/OD ak platite ki byen file ak presizyon (≤10 μm) pèmèt yon pozisyonman egzat nan kwen waf la, sa ki diminye domaj kwen yo ak jenerasyon patikil.

Espesifikasyon(baze sou 99.8% Al)₂O₃):

Aplikasyon yo:

• · Bag konsantre chanm grave dyelèktrik (oksid, nitrid grave)
• · Bag kwen chanm grave silikon
• · Bag twous pwosesis chanm CVD
• · Pwoteksyon chanm PVD ak bag kranpon

Pwosesis fabrikasyon:

Poud aliminyòm ki gen gwo pite a resevwa yon presyon izostatik → li sibi yon machin vèt pou l jwenn yon fòm prèske nèt → li sibi yon sinterizasyon a 1600°C → li sibi yon fanm dyaman CNC pou idantite enteryè, ekstèn sifas, ak epesè → li sibi yon rodé pou jwenn yon sifas plat ≤10 μm → li sibi yon netwayaj à ultrasons → li sibi yon enspeksyon CMM 100%. Fini sifas la Ra ≤0.4 μm minimize adezyon patikil yo.

Kontwòl Kalite:

• · Enspeksyon dimansyonèl 100% (ID, OD, epesè, paralelis)
• · Tès penetran lank pou mikwo-fant (pa gen fant ki otorize)
• · Enspeksyon vizyèl anba yon mikwoskòp 20× — pa gen fant, vid, oswa dekolorasyon
• · Tès fòs dyelèktrik dapre ASTM D149 (echantiyonaj)

Avantaj sou bag konsantre Silisyòm oswa Quartz:

• · Dire lavi 5–10 fwa pi long nan plasma fliyokarbon
• · Pa gen patikil ewozyon konsomab pou kontamine waf yo
• · Pi gwo fòs dyelèktrik anpeche ark elektrik
• · Kenbe platite ak presizyon dimansyonèl pandan plizyè milye èdtan RF

Materyèl Altènatif — Zirkonya estabilize ak Yttria (ZrO₂):

Pou aplikasyon ki mande pi gwo rezistans frakti (pa egzanp, chanm ki sibi siklaj tèmik souvan oswa chòk mekanik), bag konsantre ZrO₂ (dansite 6.03 g/cm³, rezistans fleksyon 1000 MPa, rezistans frakti 5–8 MPa·m¹/²) disponib. Sepandan, aliminyòm ofri pi bon rentabilité epi li se estanda endistri a pou pifò aplikasyon bag konsantre.

Personnalisation:

• · Pwofil mach eskalye, twou kontre, oswa twou aliye dapre desen kliyan an
• · Kouch Y₂O₃ pou amelyore rezistans kont ewozyon plasma (epesè 20–100 μm)
• · Make nimewo pyès, kòd dat, oswa mak aliyman ak lazè

Nòt:Tout done yo swiv estrikteman tablo pwopriyete Al₂O₃ ki founi an. Pou espesifikasyon ZrO₂ yo, gade fich done zirkonya ki founi an. Desen bag konsantre yo ka mande otorizasyon patant — kliyan yo responsab pou verifye dwa pwopriyete entelektyèl yo.