-
Bra robo seramik aliminyòm ki gen gwo pite pou manyen wafer
Bra robo seramik aliminyòm St.Cera a fabrike avèk presizyon ak 99.8% Al₂O₃ (aliminyòm) ki gen yon gwo pite. Li konbine yon rezistans fleksyon eksepsyonèl (361 MPa), yon dite segondè (16 GPa), ak yon dansite ki ba (3.93 g/cm³), sa ki bay yon bra ki lejè men rijid pou transfè waf semi-kondiktè. Koyefisyan ekspansyon tèmik materyèl la (7.2×10⁻⁶/°C) koresponn byen ak silikon, sa ki minimize diferans tèmik pandan pwosesis la.
-
Efèktè Final Seramik Bernoulli — Manyen Wafer San Kontak pou Wafer Mens ak Frajil
Efektè final seramik Bernoulli St.Cera a itilize yon leve ayewodinamik pou manyen waf yo san kontak fizik. Li fabrike ak aliminyòm 99.8% (Al₂O₃) oswa carbure silikon (SiC) ki gen yon gwo pite, li gen bouch ki fèt ak presizyon ki voye gaz anba presyon pou kreye yon fim lè mens ant efèktè final la ak waf la. Prensip san kontak sa a elimine kontaminasyon dèyè, fann kwen, ak domaj sifas, sa ki fè li ideyal pou waf mens (≤100 μm), frajil, oswa defòme. Substra seramik la bay yon gwo rezistans fleksyon (361 MPa pou Al₂O₃; jiska 550–600 MPa pou SiC), yon mas ki ba, ak yon ekselan estabilite dimansyonèl, sa ki asire yon pozisyonman repetitif nan robo transfè waf ki gen gwo vitès.
-
Efèktè Fen Seramik Kouvwi ak Teflon - Sifas ki pa Kole pou Manyen Wafer Sansib
Efèktè seramik St.Cera a ki kouvri ak Teflon (PTFE) konbine yon substra aliminyòm ki gen gwo rezistans ak yon kouch PTFE inifòm ki pa twò friksyon (epesè 15-30 μm). Kouch la bay yon koyefisyan friksyon ki ba anpil (≤0.1), yon ekselan rezistans chimik, ak pwopriyete anti-adezif, ki anpeche adezyon waf la epi elimine kontaminasyon dèyè. Substra seramik ki anba a (99.8% Al₂O₃) ofri yon gwo rezistans fleksyon (361-1000 MPa), rezistans mete, ak estabilite tèmik jiska 260°C (limit kouch la). Efèktè final sa a ideyal pou manyen waf ki delika, mens, oswa kolan (pa egzanp, apre kouch fotorezist oswa pwosesis chimik).
