-
Pwosesis Customized nan Al2O3 Seramik Wafer Chuck
Fòme pa presyon izostatik frèt epi sinterize anba tanperati ki wo, answit machin ak poli avèk presizyon, pyès rezèv seramik yo ka satisfè nenpòt egzijans strik ekipman semi-kondiktè grasa karakteristik rezistans mete, rezistans korozyon, ekspansyon tèmik ki ba, ak izolasyon. Seramik yo ka travay nan plizyè kalite ekipman pwodiksyon semi-kondiktè nan kondisyon tanperati ki wo, vakyòm oswa gaz koroziv pou yon tan long.
Fèt ak poud aliminyòm ki gen anpil pite, trete pa presyon izostatik frèt, sinterizasyon tanperati ki wo ak fini presizyon, li te kapab rive nan tolerans dimansyon ±0.001 mm, fini sifas Ra 0.1, rezistans tanperati 1600 ℃.
-
Plak seramik pou ekipman semi-kondiktè ST.CERA Customized
Fòme pa presyon izostatik frèt epi sinterize anba tanperati ki wo, answit machin ak poli avèk presizyon, pyès rezèv seramik yo ka satisfè nenpòt egzijans strik ekipman semi-kondiktè grasa karakteristik rezistans mete, rezistans korozyon, ekspansyon tèmik ki ba, ak izolasyon. Seramik yo ka travay nan plizyè kalite ekipman pwodiksyon semi-kondiktè nan kondisyon tanperati ki wo, vakyòm oswa gaz koroziv pou yon tan long.
Fèt ak poud aliminyòm ki gen anpil pite, trete pa presyon izostatik frèt, sinterizasyon tanperati ki wo ak fini presizyon, li te kapab rive nan tolerans dimansyon ±0.001 mm, fini sifas Ra 0.1, rezistans tanperati 1600 ℃.
-
Mandrin vakyòm aliminyòm 12 pous pou pwosesis wafer 300mm
Mandrin vakyòm 12 pous St.Cera a fabrike avèk presizyon ak 99.8% aliminyòm pite segondè (Al₂O₃) pou manyen waf 300mm. Mandrin lan gen yon sifas ak rainur amann (lajè rainur 0.5–1.0 mm, pant 2–3 mm) pou asire yon distribisyon vakyòm inifòm sou tout dyamèt 300mm lan. Planite a kenbe nan 5 μm, sa ki pèmèt yon fiksasyon waf san defòmasyon pandan koupe an ti moso, fanm dèyè, ak enspeksyon. Gwo rezistans fleksyon materyèl la (361 MPa) ak dite li (16 GPa) garanti estabilite dimansyonèl alontèm menm anba sik vakyòm repete.
-
Pyès Rezèv Seramik pou Ekipman Sond Semi-kondiktè
Fòme pa presyon izostatik frèt epi sinterize anba tanperati ki wo, answit machin ak poli avèk presizyon, pyès rezèv seramik yo ka satisfè nenpòt egzijans strik ekipman semi-kondiktè grasa karakteristik rezistans mete, rezistans korozyon, ekspansyon tèmik ki ba, ak izolasyon. Seramik yo ka travay nan plizyè kalite ekipman pwodiksyon semi-kondiktè nan kondisyon tanperati ki wo, vakyòm oswa gaz koroziv pou yon tan long.
Fèt ak poud aliminyòm ki gen anpil pite, trete pa presyon izostatik frèt, sinterizasyon tanperati ki wo ak fini presizyon, li te kapab rive nan tolerans dimansyon ±0.001 mm, fini sifas Ra 0.1, rezistans tanperati 1600 ℃.
-
Transpòtè Ekipman Semi-kondiktè Plak Seramik
Fòme pa presyon izostatik frèt epi sinterize anba tanperati ki wo, answit machin ak poli avèk presizyon, pyès rezèv seramik yo ka satisfè nenpòt egzijans strik ekipman semi-kondiktè grasa karakteristik rezistans mete, rezistans korozyon, ekspansyon tèmik ki ba, ak izolasyon. Seramik yo ka travay nan plizyè kalite ekipman pwodiksyon semi-kondiktè nan kondisyon tanperati ki wo, vakyòm oswa gaz koroziv pou yon tan long.
Fèt ak poud aliminyòm ki gen anpil pite, trete pa presyon izostatik frèt, sinterizasyon tanperati ki wo ak fini presizyon, li te kapab rive nan tolerans dimansyon ±0.001 mm, fini sifas Ra 0.1, rezistans tanperati 1600 ℃.
-
Pyès rezèv seramik pou ekipman semi-kondiktè
Fòme pa presyon izostatik frèt epi sinterize anba tanperati ki wo, answit machin ak poli avèk presizyon, pyès rezèv seramik yo ka satisfè nenpòt egzijans strik ekipman semi-kondiktè grasa karakteristik rezistans mete, rezistans korozyon, ekspansyon tèmik ki ba, ak izolasyon. Seramik yo ka travay nan plizyè kalite ekipman pwodiksyon semi-kondiktè nan kondisyon tanperati ki wo, vakyòm oswa gaz koroziv pou yon tan long.
Fèt ak poud aliminyòm ki gen anpil pite, trete pa presyon izostatik frèt, sinterizasyon tanperati ki wo ak fini presizyon, li te kapab rive nan tolerans dimansyon ±0.001 mm, fini sifas Ra 0.1, rezistans tanperati 1600 ℃.
-
Bag sele seramik aliminyòm ki gen gwo pite pou sele chanm ki gen gwo tanperati
Bag sele seramik St.Cera a fèt kòm yon altènativ a bag O-ring polymère nan anviwònman ekstrèm kote elastomè yo degrade. Fabrike ak 99.8% aliminyòm pite segondè (Al₂O₃), bag sele rijid sa a itilize nan aplikasyon sele estatik — tipikman asosye avèk yon metal mou oswa grafit jwenti — pou bay yon vakyòm serye oswa yon konfinman gaz nan tanperati jiska 800°C ak nan anviwònman plasma oswa chimik agresif. Materyèl la ofri zewo degajman gaz, gwo fòs konpresiv (fòs fleksyon fondamantal 361 MPa), ak inèsi chimik (rezistan a alojèn, asid, ak alkali eksepte HF). Sifas sele ki sipèpoze avèk presizyon (planite ≤5 μm, aspè sifas Ra ≤0.2 μm) asire yon kontak ki pa koule ak konpozan metal oswa seramik ki kwaze yo.
-
Bag Konsantrasyon Chanm Alumina ki gen Gwo Pite pou Sistèm Gravure Plasma ak CVD
Bag konsantrasyon chanm St.Cera a se yon konpozan twous pwosesis kritik yo itilize nan ekipman semi-kondiktè grave plasma, CVD, ak PVD. Fabrike ak 99.8% aliminyòm pite segondè (Al₂O₃), bag la antoure kwen waf la pou limite plasma a epi optimize distribisyon angilè iyon an, kidonk amelyore inifòmite grave sou tout sifas waf la. Materyèl la ofri yon rezistans plasma eksepsyonèl, yon fòs dyelèktrik segondè (15 × 10⁶ V/m), ak estabilite tèmik jiska 1600 °C, sa ki asire fyab alontèm nan anviwònman plasma agresif ki baze sou fliyò oswa klò. ID/OD ak platite ki byen file ak presizyon (≤10 μm) pèmèt yon pozisyonman egzat nan kwen waf la, sa ki diminye domaj kwen yo ak jenerasyon patikil.
-
Bag seramik aliminyòm ki gen gwo pite pou chanm pwosesis CVD / PVD
Bag seramik St.Cera a fèt espesyalman pou itilize nan chanm pwosesis CVD (Depozisyon Vapè Chimik) ak PVD (Depozisyon Vapè Fizik). Fabrike ak 99.8% aliminyòm pite segondè (Al₂O₃), bag sa a sèvi kòm yon revètman chanm, bag konsantrasyon, oswa konpozan twous pwosesis pou limite plasma epi pwoteje mi chanm yo kont ewozyon. Materyèl la ofri ekselan rezistans plasma, gwo fòs dyelèktrik (15×10⁶ V/m), ak estabilite tèmik jiska 1600°C, sa ki asire yon lavi sèvis ki long nan anviwònman plasma agresif ki baze sou fliyò. Tolerans dimansyonèl presi (±0.05 mm sou ID/OD) ak platite (≤10 μm) pèmèt yon pozisyonman konsistan nan kwen waf la, amelyore inifòmite depo a epi diminye jenerasyon patikil.
-
Chuck vakyòm seramik pore pou manyen wafer defòme
Mandrin seramik pore St.Cera a fèt ak aliminyòm ki gen yon gwo pite ak yon porosit ouvè inifòm 30-45% ak gwosè pò ki varye ant 10 ak 100 μm. Kontrèman ak mandrin rainuré konvansyonèl yo, sifas pore a bay yon vakyòm distribye sou tout dèyè waf la, sa ki kenbe waf ki defòme, mens, oswa endividyèl yo efektivman san kwen yo pa leve oswa kraze. Vakyòm dou a (reglabl atravè yon restriktè) anpeche tou make sou dèyè a.
-
Mandrin vakyòm seramik pore ki baze sou aliminyòm pou manyen wafer mens
Mandrin pore St.Cera a ki baze sou aliminyòm fabrike ak 99.6% Al₂O₃ ki gen yon gwo pite ak yon porosit ouvè kontwole de 30-45% ak yon gwosè pò inifòm ki varye ant 10 a 50 μm. Kontrèman ak mandrin ki gen rainur yo, sifas pore a bay yon vakyòm distribye sou tout dèyè waf la, sa elimine mak sou kwen yo epi pèmèt yon kenbe dou waf ultra-mens (≤100 μm) oswa ki defòme. Materyèl la ofri yon rezistans fleksyon ≥250 MPa ak yon estabilite tèmik jiska 400°C nan lè.
-
Plak distribisyon gaz aliminyòm pou tèt douch CVD/PVD
Plak distribisyon gaz St.Cera a (tèt douch) fèt ak presizyon ak seramik aliminyòm 99.8% ki gen yon gwo pite. Li gen yon seri mikwo-twou (dyamèt 0.3–1.5 mm) ki asire yon koule gaz inifòm sou sifas waf la pandan pwosesis CVD, PVD, oswa ALD. Gwo fòs dyelèktrik plak la (>15×10⁶ V/m) ak rezistans plasma fè li esansyèl pou depo fim mens semi-kondiktè.
